概要

イリジウムターゲットは、高純度のイリジウム金属で作られたスパッタリングソースです。{0}そのコアは、物理蒸着 (PVD)半導体、航空宇宙、触媒処理、光学機器などの分野での用途向けに、高温、耐食性、安定性の高い貴金属膜を作製します。{0}{0}{1} FANMETALは、製品の製造と輸出において20年以上の経験があります。貴金属ターゲット。詳しい価格を知りたい場合は、今すぐメールにてお問い合わせください。

イリジウムの特長

超高純度-

純度は99.99%～99.999%（4N～5Nグレード）に達し、不純物の総量は10ppm未満に制御され、電流透過率と膜の均一性の安定性を確保し、不純物によって引き起こされる膜層の欠陥を回避します。

高温安定性

熱膨張係数が低く、極端な温度環境でも構造の完全性を維持し、高温でも低い熱抵抗を維持し、熱の蓄積と損失を効果的に防ぎます。

耐食性

イリジウムは、ほぼすべての酸、王水、溶融金属、ケイ酸塩に耐性があります。表面に緻密な酸化膜が形成され、外部の腐食性媒体を効果的に隔離し、基板を浸食から保護します。 (ソース)

機械的性質

高密度、高引張強度、ビッカース硬度1670HV以上、2000度の高温でも高硬度を維持。また、環境を汚染することなく長期間使用できます。

イリジウムターゲットの写真

イリジウムスパッタターゲットアプリケーション

1. 半導体およびチップの製造

イリジウムスパッタリングターゲットは、半導体やチップの製造中にシリコン基板内への銅イオンの移動を制限する極薄のバリア層を作成するために使用されます。{0}チップの相互接続の信頼性が向上します。 0.5-3nmの厚さでスパッタリングできるため、微細構造を備えた高密度集積回路のニーズを満たすことができ、デバイスの性能を向上させることができます。

2. 電子部品とディスプレイ技術

電極層を作成するためのフレキシブル OLED ディスプレイの製造、マイクロリレーとスイッチの接点材料の製造、高精度の圧力および温度センサー用の高感度コンポーネントの製造、5G RF デバイスで使用される一次電極材料などは、アプリケーションの一部です。{0}イリジウムターゲットは、信号の効率と測定の精度を向上させることにより、信号送信の効率を大幅に向上させることができます。

3. 光学機器

イリジウムは、その反射特性により、赤外線検出器、赤外線光学系 (レンズ)、および熱画像製品の中赤外線および遠赤外線反射/反射コーティングの優れた候補です。-さらに、イリジウムコーティングはその非常に滑らかな表面により、過酷な環境条件にさらされるハイエンドの光学システムに追加の表面保護を提供し、レンズの寿命を延ばすことができます。{3}}

4. 航空宇宙

衛星および宇宙探査機の赤外線リモートセンシングおよび赤外線イメージングデバイスは、高い赤外線反射と宇宙環境の安定性を実現するためにイリジウム膜に依存しています。イリジウムは融点が高く、高温での耐酸化性に優れているため、高温部品やエンジン関連デバイスの保護膜または機能膜として使用できます。-{2}}

5. エネルギーと触媒作用

イリジウムは、水素燃料電池に使用される膜電極接合体 (MEA) の触媒として機能します。イリジウムの触媒活性と化学的安定性により、電気分解の効率が向上して水素を生成し、消費される総エネルギーが削減されます。イリジウムをアノード材料として使用すると、他の材料と比較して、塩素-アルカリ用途での有効耐用年数が大幅に長くなります。

処理

(1) 原料の準備: 均一な粉末純度および粒子サイズを確保するために、スクリーニングおよび不純物除去のために 99.99% 以上の高純度イリジウム粉末を選択します。-。
(2) 冷間プレス成形：イリジウム粉末を金型に充填し、高圧で冷間プレスし、一定の強度を持った多孔質のグリーンブランクを作製します。
(3) 予備焼結: 真空または保護雰囲気中で低温で加熱して、本体内のガスを除去し、予備的に固めます。
(4) ホットプレス/熱間静水圧プレス: 高温高圧下で本体を緻密化して、高密度、低気孔率のイリジウムビレットを得る-。-。
(5) 熱処理処理：鍛造、圧延、または熱処理により結晶粒を微細化し、組織の均一性を高め、内部応力を低減します。
(6) 精密機械加工：ワイヤーカット、研削、研磨により、寸法、平坦度、粗さの要求を満たす目的のブランクに加工されます。
(7) バックプレート溶接(オプション): ターゲット材料を銅、モリブデン、その他のバックプレートに結合して、スパッタリング中の良好な電気伝導性と熱伝導性を確保します。
(8) 包装の洗浄と検査: 超音波洗浄で油分やゴミを除去し、純度、密度、非破壊検査などの検査に合格した後、真空包装を洗浄します。

会社概要

ファンメタル

XINXIANG FANMETAL TECH CO LTDは主にタングステン合金、モリブデン合金、超硬合金、スパッタリングターゲット、チタン合金、ジルコニウム金属、イリジウム、ステライトの製造・販売を行っています。 FANMETAL の主な生産、技術、販売の従業員は 10 ～ 30 年の経験があり、熟練した機械加工、表面処理、完成品の販売および顧客サービスソリューションを備えています。これは、顧客が生産中に発生するさまざまな問題を解決するのに役立ち、効率を向上させるために使用されます。

品質保証とコンプライアンス

当社はお客様が要求する最高の純度を達成し、ISO 9001 認証、原産地証明書、および MTC レポートを提供できます。

先進の設備

最新の焼結設備、CNCマシニングセンター、検査・分析設備を完備しております。また、技術者は20年以上の専門的な経験を持っています。

競争力のある価格

他のヨーロッパやアメリカのサプライヤーと比較して、当社はお客様の予算を削減しながら高品質の製品を提供できます。{0}また、運賃も非常に費用対効果が高くなります。-

カスタムサービス

お客様の図面に従って生産をカスタマイズすることができ、またお客様の要件に従って設計および加工することもできます。

よくある質問

Q: イリジウムスパッタリングターゲットの最高純度はどれですか?どうやって証明できますか？

A: 当社のイリジウム (Ir) スパッタリングターゲットの最高純度は 99.999% (5N) です。当社は、不純物含有量を検証し、材料の純度を保証するために、GDMS (グロー放電質量分析) および ICP テストのテスト結果を含む、サードパーティの研究所からの分析証明書 (COA) を提供しています。-

Q: 粒子サイズはスパッタリング性能にどのように影響しますか?プロセス内で粒度をどのように制御しますか?

A: 均一で微細な粒子サイズにより、スパッタリング中の安定した堆積速度、一貫した膜厚、粒子発生の低減、均一な膜密度が保証されます。
当社は、最適化された粉末の前処理、真空ホットプレス / HIP 焼結、および焼結後の熱処理によって粒子サイズを正確に制御し、微細で均一かつ欠陥の少ない微細構造を実現し、高品質の薄膜を保証します。{{2}

Q: イリジウムターゲットにはどのような形状と寸法がありますか?

A: イリジウムスパッタリングターゲットを、円形、平面長方形、回転式、円形リング、階段状のターゲット、カスタムの特殊プロファイルなど、さまざまな形状にカスタマイズできます。{0}
寸法は顧客の図面に応じてカスタマイズ可能で、小規模な実験室ターゲットから大規模な工業用コーティングターゲットまで、標準および非標準サイズをカバーします。{{0}{1}{1}

Q: スパッタリング中のイリジウムターゲットの利用率を向上させるにはどうすればよいですか?

A: ターゲットの使用率を高めるには、次のことをお勧めします。