アルミニウムシリコンスパッタターゲット
概要
アルミニウムシリコンスパッタターゲットは、金属合金ターゲット高{0}}純度アルミニウム-シリコン素材を精密加工して製造された素材。軽量、耐摩耗性、耐高温性、耐食性、速い成膜速度、高品質の成膜などの利点により、さまざまな分野で利用されています。-このターゲットは、高絶縁性、高反射率、高耐摩耗性、高透明性、高熱伝導性などのさまざまな特性を備えた薄膜コーティングをスパッタリングできます。
アルミニウムシリコン合金の特性
- 高純度かつ低気孔率により、不純物による薄膜の電気的、光学的、化学的特性への干渉が効果的に防止され、スパッタリング膜の安定した性能が保証されます。
- 熱伝導率が高く、熱膨張係数が低いため、変形しにくく放熱性に優れています。
- 高硬度、優れた耐摩耗性、良好な靭性により長寿命を実現します。
- 高いスパッタリング効率と高い膜均一性により、薄膜の耐食性、熱安定性、電気絶縁性が大幅に向上します。

アルミニウムシリコンスパッタターゲット寸法
High aluminum content (>50%アルミニウム)
- 表面はより滑らかになり、元素の分布はより均一になります。
- 界面結合力が強くなり、膜厚がより厚く均一になります。
- 高い機械的強度、化学的安定性、光学的透明性が要求される用途に適しています。
High silicon content (>シリコン50%)
- 表面は比較的粗く、元素の分布はわずかに不均一です。
- より優れた電気絶縁性と熱安定性を提供します。
- 絶縁層やミラーなどの特定の光学用途に適しています。
| 学年 | Al-20Si |
| 純度 | 99.5%,99.7%,99.8%,99.9%,99.95%,99.99% |
| 形 | ラウンド |
| 直径 | Φ50~Φ300mm |
| 厚さ | 3-20mm |
| 密度 | 2.58g/cm3 |
| 硬度 | 100-120HV |
| 表面 | 研磨、研削 |
| 納期 | 20-30日 |
| 認証 | ISO9001 |
アルミニウムシリコンターゲットアプリケーション




1. 産業機械
アルミニウム シリコン スパッタリング ターゲットは、精密ベアリング、ギア、油圧バルブ コア、金型キャビティ、工作機械のガイド レールなどのコア コンポーネントにアルミニウム シリコン コーティングを堆積するために使用されます。{0}これにより、機械部品の表面耐摩耗性と耐傷性が大幅に向上し、摩耗しやすいさまざまな作業条件に適したものになります。-
2. 自動車製造
湿気が多く摩擦を受けやすい自動車のシャーシやエンジン周囲などの過酷な環境では、アルミニウム シリコン スパッタ ターゲットによって堆積されたコーティングが表面に緻密な Al₂O₃-SiO₂ 複合不動態膜を形成し、耐食性と耐摩耗性の両方を実現します。
3. エレクトロニクスおよび半導体
スパッタリングされたコーティングは、電気ケースの保護層として、または半導体デバイスの高硬度絶縁層として使用できます。{0}プラスチックケースの耐酸化性を向上させるだけでなく、優れた絶縁性を提供し、電子部品のショートを防ぎます。
4. 光学系とディスプレイのコーティング
液晶ディスプレイ(LCD/OLED)のミラー、フィルター、電極の製造に使用され、高品質の絶縁膜や反射防止膜の製造によく使用されます。{0}{1}
5. 高級装飾-
8020 アルミニウム-シリコン ターゲットからスパッタされた膜は、均一な銀白色-の金属光沢を示し、耐摩耗性-と耐指紋性-を備えています。従来の装飾コーティングの一部を置き換えることができるため、ハイエンドのハードウェア、高級品、金属ケース、建築装飾プロファイルに適しています。{6}}
処理
原料準備 → 真空溶解鋳造 → 均質焼鈍 → 塑性加工(鍛造+圧延) → 精密機械加工 → 対象素材 -裏面-メッキ接合→ 完成品検査 → 梱包・出荷
① 高純度アルミニウム地金とシリコン粉末を均一に配合し、不純物によるコーティング性能への影響を防ぎます。
②真空誘導溶解炉内でアルミニウムとシリコンを比例的に積層し、微細で均一な結晶粒組織を実現します。
③ 冷間静水圧プレスにより予備成形が行われ、続いて真空環境でホットプレスと焼結が行われ、材料が緻密化され、高密度のターゲット ブランクが形成されます。-
④ マルチパス熱間鍛造+温間圧延複合プロセスを採用し、公差±0.2mm以内に管理された完成品のベース厚さを実現します。
⑤ CNC 加工(旋削と研削)を行って顧客指定の寸法と形状を実現し、その後バッキング プレートを接着します。{0}}
⑥ 機械的特性、寸法精度、化学純度、表面粗さ、外観検査、平面度などを含む総合的な性能検証を行い、適切な梱包と出荷を保証します。
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FANMETAL TECH CO LTDは主にタングステン合金、モリブデン合金、超硬合金、スパッタリングターゲット、チタン合金、ジルコニウム金属、イリジウム、ステライトの製造・販売を行っております。 FANMETAL の主な生産、技術、販売の従業員は 10 ~ 30 年の経験があり、熟練した機械加工、表面処理、完成品の販売および顧客サービス ソリューションを備えています。これは、顧客が生産中に発生するさまざまな問題を解決するのに役立ち、効率を向上させるために使用されます。

01
高品質
-原材料の調達、製造から完成品の検査に至るまで、全プロセスの品質管理が実施されています。同社は ISO 9001 品質認証も取得しています。
02
先進の設備
当社は防護材の知識に精通した専門家で構成された技術チームを擁し、切断機、機械旋盤、表面処理装置、放射線量検出器などの高度な製造・検査設備も備えています。
03
カスタムサービス
当社の技術チームは、特定の顧客の要件に従って図面を設計し、生産をカスタマイズすることができます。また、顧客は正確な図面を当社に送信することもできます。
04
ワンストップ ソリューション
サイズ仕様や注文数量などお客様のニーズを確認し、見積、特注生産、品質検査、梱包、配送、アフターサービスなどの一連のサービスを即時対応いたします。{0}}
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FANMETAL は最近、高品質のアルミニウム シリコン ターゲットのバッチをアイルランドに輸出することに成功し、現地の半導体製造における重要な材料要件を効果的に満たしました。{0}これは国際市場へのさらなる拡大を意味します。この製品は物理蒸着技術を利用して高性能薄膜を形成し、半導体、機械製造、装飾分野で広範な用途に使用されています。{3} 20年以上の専門知識と厳格な品質管理を活用して、当社のターゲット材料は純度と寸法精度の国際基準を達成しながら、競争力のある価格を提供します。また、チタン-、ニッケル、クロムなどの多様なターゲット材料も提供しています。この提携はアイルランドの技術産業のアップグレード要件と一致しており、当社は引き続き技術とサービスの利点を活用して世界のハイエンド材料市場を強化していきます。{9}}
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