クロムターゲット
概要
A クロムターゲットマグネトロンスパッタリングや電子ビーム蒸発などの薄膜沈着技術でクロム薄膜を生成するために使用される重要な消耗品です{.は、主に高純度の金属クロムから作られており、粉末金属、融解、プレス.}.などのプロセスを通じて製造されています。 (e . g .、cu相互接続バリア層とフォトリソグラフィーマスク光シールドレイヤー)、光学成分(e . g .、赤外線リフレクターおよび装飾的なクロムメッキ)、機械的な摩耗溶剤coating式溶剤coating式石化(e . g .、ベアリングとカビの表面保護)、航空宇宙の高温耐性コーティング、および化学産業の抗腐食コーティングなど.}
99.95%クロムターゲット特性
優れた物理的特性
クロムのMOHSの硬度は約9で、ダイヤモンドといくつかのスーパーハード材料.のみに2番目になります.スパッタリングによって堆積したクロムフィルムの硬度は600-1200 hV .に到達できます。
優れた化学物質の安定性
クロムは、空気中の密なCR2O2パッシベーションフィルムを簡単に形成します。これは、酸性酸(硫酸、塩酸など)、アルカリ、塩溶液.に対する酸性耐性耐性を備えています。
優れた光学的および電気的特性
可視光帯のクロムの反射率は約60%-70%であり、赤外線帯では、特に90%.を超えることができます。
スパッタリング堆積に理想的な材料
ほとんどの難治性金属(タングステンやモリブデンなど)よりも高い純度とスパッタリング効率が高く、安定した堆積速度.大部分の薄膜を準備でき、大規模な生産量(ディスプレイパネルや太陽電池など)に適しています.
寸法
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学年 |
CR009302、CR009500、CR009600など. |
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純度 |
99.95%,99.9%,99.99%,99.999% |
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厚さ |
3mm -40 mm |
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直径 |
50mm -160 mm |
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融点 |
1857度 |
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密度 |
7.2g/cm3 |
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形 |
ディスク |
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表面 |
研磨、アルカリクリーニング |
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認証 |
ISO9001 |
応用
1.半導体業界
クロムフィルムは、薄膜堆積材料としてよく使用されます{.高耐熱性と優れた化学的安定性は、半導体デバイスの全体的な性能と耐久性を大幅に向上させます.
2.太陽光産業
クロムターゲット材料は、バッテリーの光吸収速度を高め、表面反射率を低下させることにより、ソーラーパネル.を製造するために使用できます。ソーラーエネルギー変換効率を高め、ソーラーパネルの発電容量を高め、エネルギーコストを削減することができます.}
3.自動車や建物の装飾的および保護コーティング
装飾的な金属フィルムの生産に使用される{.これらのクロムフィルムは、魅力的な光沢と色を提供するだけでなく、追加の防止防止と耐摩耗性の保護を提供し、製品の外観と耐久性を高めます.}
4.電子コンポーネント、ディスプレイ、ツール用の物理的堆積フィルムと機能的コーティング(PVDメソッド).
5.真空クロムメッキは、時計部品、家庭用家電コンポーネント、油圧シリンダー、スライドバルブ、色付きガラス、その他の機械および機器に使用されます.
半導体製造におけるクロムスパッタリングターゲットの適用
- 主にスパッタリングコーティングプロセスで使用され、均一で密な、強い接着クロムフィルムを形成することができ、半導体デバイスの性能と安定性を大幅に改善できます{.}
- クロムCRターゲットは、統合回路の堆積フィルムで広く使用されており、微小電子デバイスの導電性経路と接続に使用され、導電性層の効率的な熱放散と安定した伝送.
- クロムCRラウンドターゲットは、エッチングプロセス中の損傷から回路構造を保護し、回路パターンの完全性を向上させることができるアンチエッチング層でも使用されています。
- 光学センサーや太陽電池などの特定の特定の半導体デバイスでは、クロムターゲットによってスパッタにされた高品質のフィルムでは、デバイスの光学性能とサービス寿命をさらに最適化できます.
プロセス
- パウダー冶金:低コスト、大規模で特別な形のターゲットの準備に適しています(湾曲したターゲットなど)
chrom虫粉末を精製した後、少量の焼結エイズと混ぜ、ボールミリングを介して粉末粒子を均質化します.
cold等等積みのプレスまたはホットアイソスタティックプレスを介して空白を作り、ターゲットの密度を増加させます{.
us拡散焼結を介して毛穴を排除し、材料の密度を高めるために、2-4時間の水素保護大気炉の焼結.
dimential寸法耐性を減らすために焼結した空白を切断して粉砕し、超音波洗浄後に表面を磨き、表面酸化物層を除去します{.
- 融解方法:高密度、より高い純度、しかし複雑なプロセス、高コスト、主にラウンドまたは長方形の標準ターゲットに使用されます.
celling電子ビーム融解または真空アークの融解を使用して、高純度クロムブロック.
olt溶融クロム液をインゴットにキャストし、その後ホットフォージまたはホットロール.
fored鍛造クロムインゴットをカスタマイズされたサイズに切り、機械的粉砕によって酸化物スケールを削除してから.をアニールします
compleive外観検査、寸法精度、筋力テストなど、パッケージングや出荷の前に包括的な品質検査を実施する.
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クロムターゲット、99.95%クロムCR標的韓国
1月上旬、韓国の顧客.の顧客との目標関連の貿易協力契約に署名しました。
処理における顧客の要件に応じて粉末冶金プロセスを使用します{.粉末冶金は、高純度クロムパウダーを形状に押し込み、.を焼いた方法です.複雑な形状の標的を準備するのに適しています。 .最後に、国際基準を満たすために品質とパフォーマンスのテストを実施する必要があります.
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