Yttrium酸化アルミニウムスパッタリングターゲット

Yttrium酸化アルミニウムスパッタリングターゲットの説明

材料の選択と処理

高純度YAG粉末の調製 - 寒冷等等積プレス - 真空焼結 - 切断 - 研削および研磨 - 品質検査。

処理中、純度、不純物の含有量、粒子サイズ分布の均一性、適切な結晶形態、および処理精度に注意を払う必要があります。これは、ターゲットの最終的なパフォーマンスと品質に影響します。

特性

単一の安定した結晶構造は、基質上の均一で密な結晶性膜の形成を助長します。

優れた光学特性、良好な光透過率、低光吸収係数、低光損失。

高硬度、変形が容易ではなく、強い耐摩耗性と長いサービスライフ

さまざまな異なるスパッタリングプロセスとコーティング環境に適した良好な導電率と化学的安定性。

応用

Yttrium酸化アルミニウムスパッタリングターゲットは、光学コーティング、半導体積分回路、フラットパネルディスプレイコーティング、磁気貯蔵、航空宇宙部品の表面処理、機械加工工具コーティング、医療機器の表面修飾などで広く使用できます。

1.光学レンズ、望遠鏡、顕微鏡などの光学機器に適用される、反射膜や反射フィルムなどのさまざまな光学フィルムの準備に使用できます。光学システムのイメージング品質とパフォーマンスを向上させます。

2.積分回路に断熱膜を堆積させるために使用されます。これは、チップの統合と信頼性を改善し、回路間の断熱性と信号伝送の精度を確保するのに役立ちます。

3.ストレージ密度を向上させ、データ送信の速度と安定性を確保できる磁気光学的ストレージメディアの干渉防止フィルムの準備に使用できます。

4.高性能フィルムは、航空機のエンジンコンポーネントの硬度、耐摩耗性、耐食性、熱安定性を改善し、コンポーネントのサービス寿命を延長し、極端な環境での信頼性と安全性を確保することができます。

イットトリウム酸化アルミニウムスパッタリングターゲットの寸法

Yttrium酸化アルミニウムスパッタリングは写真をターゲットにします

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