チタンアルミニウムスパッタリングターゲット

FANMETALは、PVDコーティングシステムで使用されるTi-Al合金チタンアルミニウムスパッタリングターゲットを供給しています。 また、高純度99.9999％のその他の金属ターゲットおよび蒸着材料、貴金属ターゲット（Au、Ag、Pt）、ターゲットボンディングサービス、るつぼライナー（銅、モリブデン、タングステンなど）も提供しています。

チタンアルミニウムスパッタリングターゲット材料の品質要件は、従来の材料産業の品質要件よりも高くなっています。 サイズ、平坦度、純度、不純物含有量、密度、N / O / C / S、粒子サイズ、欠陥制御などの一般的な要件。 より高い要件または特別な要件には、表面粗さ、抵抗値、粒子サイズの均一性、組成と構造の均一性、異物（酸化物）の含有量とサイズ、透過性、超-高密度および超-が含まれます。細粒等

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チタンアルミニウムスパッタリングターゲット 説明

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