純チタンスパッタリングターゲット
純チタン スパッタリング ターゲットの特徴:
他のターゲットと比較して、金属ターゲットはセラミック ターゲットよりも高い市場需要があり、その性能はより高く、耐用年数はより長くなります。 スパッタリングターゲットの場合、金属の化学的純度が高いほど、それから作られたフィルムの導電性と耐摩耗性が向上します。 純チタン スパッタリング ターゲットは、高純度、優れた表面研磨、優れた電気伝導性と熱伝導性、優れた耐衝撃性、優れた耐摩耗性と耐腐食性、高い引張強度、優れた延性を備えています。
純チタン スパッタリング ターゲットのアプリケーション:
1. 装飾塗料: 建築用装飾材料、日用品・衣料品(時計、メガネ)、金物工具(刃物、金型)、ガラス塗料など、光沢が長期間持続し、肌との親和性が高い塗料(自動車)バックミラー)
2. 生体インプラント材料: チタンは非磁性金属であり、毒性がなく、生体適合性が高く、骨固定装置や歯科用器具などに使用されます。
3. ゲッター材:チタンは活性ガスの吸着力が強く、超高真空ポンプシステムやスパッタイオンポンプに使用可能
4. ハイテク電子情報材料:集積回路やフラットパネルディスプレイ用の高純度チタンの消費が増加
純チタン スパッタリング ターゲット仕様:
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学年 |
1年生、2年生 |
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技術 |
焼結、鍛造、焼鈍、圧延、真空溶解、機械加工 |
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純度 |
99.9% -99.995% |
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直径 |
<350mm |
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厚さ |
1-100ミリ |
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サイズ |
Rectangle (Length 1800mm, Width 400mm Thickness>1mm) チューブ (回転ターゲット、外径:20mm-160mm、厚さ:2-20mm) |
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密度 |
4.5g/cm3 |
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水面 |
ポリッシュ、ブライト、ケミカル クリーニング、ブラック オキサイドなど。 |
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形 |
ディスク、プレート、長方形、正方形、列ターゲット、 |
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標準 |
ASTM B385、GB、JIS |
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認証 |
ISO9001、ISO14001 |
純チタン スパッタリング ターゲットの写真:


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