タングステンイオン注入部

タングステンイオン注入部品の説明

イオン注入は、材料の表面特性を最適化したり、新たな優れた特性を得ることができる材料表面改質の新しい技術であり、半導体や集積回路の製造において重要な役割を果たしています。 タングステン材料は、高密度、高融点、安定した高温化学特性、小さい熱変性、優れた熱伝導率、長い耐用年数という利点を備えているため、半導体業界のイオン源およびイオン注入装置の消耗品として第一選択となっています。 。 タングステンイオン注入部品は、通常、粉末冶金技術によって製造され、通常、発光陰極のシールドシリンダー、発光パネル、中心固定ロッド、およびアーク開始チャンバー内のフィラメントプレートが含まれます。 タングステンイオン注入部品は、航空宇宙、科学実験、金属加工、高温炉、サファイア精製産業、セラミック産業などで広く使用できます。

タングステンイオン注入部仕様：

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