アルミニウムクロム合金スパッタリングターゲット
アルミニウム クロム合金スパッタリング ターゲットの機能とアプリケーション
アルミニウムクロム合金スパッタリングターゲットは、非常に高温、高圧、さまざまな腐食の極端な条件に簡単に耐えることができ、高温でもツールを摩耗から確実に保護し、耐用年数を延ばします。 アルミニウムの存在により、当社の合金材料は非常に高い延性と良好な成形性を備えており、粉末冶金プロセスによる製造に非常に適しており、さらに高品質のコーティングを得ることができます。 アルミニウムクロム合金スパッタリングターゲットには、一般に、長方形のターゲット、アークターゲット、一体成形されたチューブターゲットなどが含まれ、結晶粒が小さく均一で、熱伝導性と電気伝導性が高く、耐食性が高く、耐衝撃性が高く、耐久性に優れています。 シリーズの利点。 アルミニウム クロム合金スパッタリング ターゲットは、ハードウェア ツール コーティング、ガラス コーティング、半導体、光通信産業でよく使用されます。
アルミニウム クロム合金スパッタリング ターゲット仕様:
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材料 |
CrAl (30/70,50/50) |
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純度 |
99.7パーセント |
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技術 |
焼結、鍛造、焼鈍、圧延、真空溶解、機械加工 |
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厚さ |
3mm±0.5mm |
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サイズ |
ディスク、列(直径<650mm, Thickness >1mm) Rectangle (Length 1800mm, Width 400mm Thickness>1mm) チューブ (回転ターゲット、外径:20mm-160mm、厚さ:2-20mm) |
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密度 |
5.5g/cm3 |
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水面 |
ポリッシュ、ブライト、ケミカル クリーニング、ブラック オキサイドなど。 |
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形 |
プレート、ウェーハ、長方形、正方形、円、チューブ |
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標準 |
ASTM、英国 |
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認証 |
ISO9001 |
アルミニウム クロム合金のスパッタリング ターゲットの写真:


よくある質問
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