モリブデンイオン注入部品

FANMETALは、半導体に使用されるモリブデンイオン注入部品を供給しています。

これらの材料によるモリブデンとタングステンは、耐食性、強度、および高い熱伝導率の理想的な組み合わせです。 したがって、イオン注入、MOCVD、CVD、PVD、MBEツールなど、半導体の製造に使用されるフロントエンド処理装置用のモリブデンおよびタングステンコンポーネント。

モリブデンイオン注入部品適用産業：イオン注入、電灯、高温発熱体、電極など。

タングステン、モリブデン、およびそれらの合金は、優れた熱伝導率、電気伝導率、低い熱膨張係数、高温強度、低い蒸気圧、および*により電子化されています。

電力機器製造業、金属材料加工産業、ガラス製造業、高温炉構造部品製造、航空宇宙産業アプリケーション

FANMETAL製品は、高純度クォーツ、単結晶シリコン成長、サファイア成長、MOCVD（エピタキシャル成長技術）装置、半導体イオン注入、電子パッケージングおよびヒートシンク、タングステンおよびモリブデンターゲット材料、その他の半導体およびその他の半導体で広く使用されています。半導体分野の半導体装置主要なコア材料とコンポーネント

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