成膜ターゲットは、マグネトロンスパッタリングやマルチアークイオンプレーティングなどの成膜装置を用いて、適切なプロセス条件下でスパッタリングすることにより基板上に各種機能膜を成膜するスパッタリング源である。 ファンメタルでは、99.95% ジルコニウム スパッタ ターゲット, 高純度クロムスパッタターゲットまたは 99.5% ホウ素スパッタリング ターゲット。 メールでのお問い合わせを歓迎します。
1. 加飾塗装
装飾塗装とは主に携帯電話、時計、眼鏡、衛生陶器、金物部品などの表面塗装を指します。 色を美しくする効果だけでなく、耐摩耗性、耐腐食性の機能もあります。 装飾コーティング用ターゲットの主な種類には、クロム (Cr) ターゲット、チタン (Ti) ターゲット、ジルコニウム (Zr)、ニッケル (Ni)、タングステン (W)、チタン アルミニウム (TiAl)、ステンレス鋼ターゲットなどがあります。
2. 工具と金型のコーティング
主に加工ツールの外観を強化するために使用され、金型の寿命と加工部品の品質を大幅に向上させることができます。 統計によると、先進国の工作機械のコーティング率は90％を超えています。 我が国における工具コーティングの割合も増加の一途をたどっており、工具コーティングの対象材料の需要は日々拡大しています。 主な種類は、TiAl ターゲット、クロム アルミニウム (CrAl) ターゲット、Cr ターゲット、Ti ターゲットなどです。
3. 保護コーティング
主に基材を保護し耐用年数を延ばすために適用されます。 保護膜には、腐食保護膜、潤滑膜、熱保護膜などがあります。 TiCスパッタ膜やBNスパッタ膜は、切削工具や研削工具の高硬度コーティングとしてよく使用されます。
4. 電気コーティング
スパッタリングターゲットは、半導体デバイスや集積回路における導電性材料や誘電体膜、超電導膜、ITO膜の製造に使用できます。
5.太陽電池コーティング
現在、太陽電池は何世代にもわたって開発されています。 第 1 世代は単結晶シリコン太陽電池、第 2 世代はアモルファスシリコンおよび多結晶シリコン太陽電池、第 3 世代は薄膜太陽電池です。 スパッタリング コーティング プロセスは、テルル化カドミウム (CdTe) 膜、セレン化銅インジウム ガリウム (CIGS) 膜、およびヒ素を準備することであり、塩化ガリウム (GaAs) 薄膜の最も一般的な方法です。 CIGSスパッタリングターゲットは、太陽エネルギー用途に代表されるスパッタリングターゲットです。 銅（Cu）、インジウム（In）、ガリウム（Ga）、セレン（Se）の4つの金属元素で構成されています。 太陽電池上のスパッタCIGS膜は、光吸収が強く、発電安定性が良く、変換効率が高いという利点があります。 太陽電池を日中に長時間発電させることができ、大量の電気を発電することができます。 コーティングプロセス中、CIGS スパッタリングターゲットの純度と品質は、生成される膜の品質に直接影響します。
